中效过滤器的检漏工序

1.目的：通过检测中效过滤器的泄漏量，发现中效过滤器及其安装的缺陷，以便及时采取补救措施.

2.范围：适用于洁净区中效过滤器的检漏.

3.责任者：质量部、生产部.

4.规程：

①测试方法：尘埃粒子计数扫描巡检法.

②测试范围：过滤器的滤材，过滤嚣框架的密封和过滤器组支撑框架之问的连接、支撑框架和固定壁间连接.

③检测仪器：尘埃粒子计数器.

④检测原理：根据浮游粒子在一定强度的光照下所散射出与其粒径成一定比例关系的光通量原理，粒子散射光经光电转换变成电信号，经放大和计算机处理后被显示粒子当量直径和相应粒子数量.

⑤检测程序：

用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧，采样头离过滤器距离约2cm，沿过滤器内边框等巡检，扫描速度低于5cm/s.当检测周期为10min时，0.5u m粒子数>20，表明泄漏量超标.需要修补或更换。用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后，再进行扫描巡检.

⑥检测周期

正常使用时每年至少检测一次， 新装中效过滤器应进行检测.